Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology : 9-10 November 1983, Cambridge, Massachusetts

著者

書誌事項

Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology : 9-10 November 1983, Cambridge, Massachusetts

Fred H. Pollak, Robert S. Bauer, chairmen/editors

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 452）

SPIE -- the International Society for Optical Engineering, c1984

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA23978941
  • ISBN
    • 0892524871
  • LCCN
    83051560
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash.
  • ページ数/冊数
    vi, 203 p.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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