Processing of semiconductors

著者

• Cahn, R. W. (Robert W.)
• Haasen, P. (Peter)
• Kramer, E. J. (Edward J.)
• Jackson, Kenneth A.

書誌事項

Processing of semiconductors

volume editor, Kenneth A. Jackson

（Materials science and technology : a comprehensive treatment / edited by R.W. Cahn, P. Haasen, E.J. Kramer, vol. 16）

VCH, c1996

• : gw

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA29133735
• ISBN:
  • 3527268294
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim, FDR ; New York
• ページ数/冊数: 689 p.
• 大きさ: 25 cm
• 件名:
  • LCSH : Materials
• 親書誌ID:
  • BA11923352