ULSIプロセス技術
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ULSIプロセス技術
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修, カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 17)
培風館, 1997.6
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ULSI プロセス ギジュツ
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Note
執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
Description and Table of Contents
Description
ICから、ULSI、さらにGSIへと発展しようとしている集積回路は、高度情報・通信社会の基盤を支える技術である。本書はこれら最先端の集積回路を実現するために必要な、広範囲なプロセス技術に関する解説書である。
Table of Contents
- 1 集積回路の構造と必要なプロセス技術
- 2 微細加工技術
- 3 簿膜堆積技術
- 4 酸化膜技術
- 5 不純物導入技術
- 6 清浄化技術
- 7 結晶成長技術
- 8 高・強誘電体薄膜形成技術
- 9 プロセスモジュール技術
- 10 プロセスシミュレーション技術
- 11 ULSIプロセス技術の将来動向と課題
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