マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

Author(s)

• 寺嶋, 和夫 テラシマ, カズオ

Bibliographic Information

マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

研究代表者寺嶋和夫

寺嶋和夫, 1997.3

Title Transcription

マイクロ ナノスケール ホウデン プラズマ ハッセイ ソウチ ノ シサク ト ソノ ザイリョウ プロセシング

Note

平成7〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

• NCID: BA30909199
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm