Microlithography

著者

• Rai-Choudhury, P.

書誌事項

Microlithography

（IEE materials & devices series, 12 . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 1）

SPIE Optical Engineering Press , Institution of Electrical Engineers, c1997

• : us
• : uk

注記

"SPIE press monograph PM39"

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA31844102
• ISBN:
  • 9780819423788
  • 0852969066
• LCCN: 96040237
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.,London
• ページ数/冊数: viii, 768 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7836
  • DC21 : 670
• 件名:
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Micromachining
  • LCSH : Microfabrication
• 親書誌ID:
  • BA07412236