低電圧動作, 大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究
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低電圧動作, 大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究
[村田顕二], 1997.3
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テイデンアツ ドウサ ダイデンリュウ ミツド ノ シンクウ マイクロ デバイス ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
課題番号:07650400