マイクロオプトメカトロニクスハンドブック
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マイクロオプトメカトロニクスハンドブック
朝倉書店, 1997.11
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Microoptomechatronics handbook
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マイクロオプトメカトロニクス ハンドブック
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文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
本書は総合知識を必要とする技術分野を扱っている。特に、マイクロ光学、マイクロ力学の基礎、マイクロマシニング、マイクロオプティカルセンサ、マイクロメカニカルセンサ、マイクロアクチュエータ、マイクロオプティクスなどの最先端技術を、詳細に記述してある。
Table of Contents
- 1 マイクロ工学の基礎
- 2 マイクロマシニング
- 3 マイクロオプティカルセンサ
- 4 マイクロメカニカルセンサ
- 5 マイクロアクチュエータ
- 6 マイクロオプティクス
- 7 マイクロオプトメカトロニクス融合技術とその応用
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