半導体製造装置用語辞典

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1997.11

第4版

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

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• 半導体製造装置用語辞典

  1997

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

内容説明

半導体デバイスを製造する７つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、２６１２語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。

目次

• 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
• 第２章　設計工程用語
• 第３章　マスク製作工程用語
• 第４章　ウェーハ製造工程用語
• 第５章　ウェーハ処理工程用語
• 第６章　組立工程用語
• 第７章　検査工程用語
• 第８章　設備・環境工程用語

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA33584002
• ISBN:
  • 4526040908
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xvi, 547p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体 -- 辞典