Fundamentals of microfabrication

著者

• Madou, Marc J.

書誌事項

Fundamentals of microfabrication

Marc Madou

CRC Press, c1997

注記

Includes bibliographical references (p. 565-569) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA33862386
• ISBN:
  • 0849394511
• LCCN: 96043344
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 589 p., [22] p. of plates
• 大きさ: 29 cm
• 分類:
  • LCC : TK7836
  • DC20 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Design and construction
  • LCSH : Machining
  • LCSH : Microelectronic packaging
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications