Introduction to microlithography

著者

• Thompson, L. F.
• Willson, C. G. (C. Grant)
• Bowden, M. J.

書誌事項

Introduction to microlithography

edited by Larry F. Thompson, C. Grant Willson, Murrae J. Bowden

（ACS professional reference book）

American Chemical Society, 1994

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA3402261X
• ISBN:
  • 0841228485
• LCCN: 93042023
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Washington, DC
• ページ数/冊数: xiv, 527 p.
• 大きさ: 24 cm
• 件名:
  • LCSH : Microlithography -- Congresses
  • LCSH : Photoresists -- Congresses
  • LCSH : Plasma etching -- Congresses
  • LCSH : Semiconductors -- Etching -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA04443415