トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

著者

• 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ
• 岩野, 博隆 イワノ, ヒロタカ

書誌事項

トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究

財満鎭明[ほか著]

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7年度〜平成8年度）

[出版者不明], 1997.3

タイトル読み

トンネル ブンコウホウ オ モチイタ シリサイド シリコン カイメン ノ ヒョウカ ト スイソ シュウタン コウカ ノ ケンキュウ

注記

研究課題番号:07455024

研究分担者:岩野博隆

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA35298864
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701