音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

書誌事項

音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発

一宮亮一研究代表者

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7・8年度)

[一宮亮一], 1997.3

タイトル読み

オンキョウ ノ シュウハスウ オ リヨウ シテ ハクマク ノ アツサ オ ソクテイ スル アタラシイ ホウホウ ノ カイハツ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA37299391
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [新潟]
  • ページ数/冊数
    49p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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