nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

著者

• 高増, 潔 タカマス, キヨシ

書誌事項

nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

研究代表者 高増潔

高増潔, 1998.3

タイトル別名

平成7年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

nano CMM ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA37390904
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm