nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

書誌事項

nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

研究代表者 高増潔

高増潔, 1998.3

タイトル別名

平成7年度-平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

nano CMM ナノ メートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイハツ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA37390904
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
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