化学反応を用いたアトムリソグラフィー

著者

• 田中, 虔一 タナカ, ケンイチ

書誌事項

化学反応を用いたアトムリソグラフィー

研究代表者 田中虔一

田中虔一, 1998.3

タイトル別名

平成8-9年度科学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

タイトル読み

カガク ハンノウ オ モチイタ アトムリソグラフィー

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA37796793
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm