LIGAプロセス : 進展する三次元超微細加工技術
Author(s)
Bibliographic Information
LIGAプロセス : 進展する三次元超微細加工技術
日刊工業新聞社, 1998.8
- Title Transcription
-
LIGA プロセス : シンテン スル サンジゲン チョウビサイ カコウ ギジュツ
Access to Electronic Resource 1 items
-
Limited
Available at / 28 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
参考文献: 各章末
LIGAプロセス関連の参考文献: p229-265
監修: 中島尚正, 梅田章
Description and Table of Contents
Description
本書は、ＬＩＧＡ技術の入門から応用に至る一連の技術の流れを、専門の研究者・技術者だけでなく、初心の読者にもわかりやすく解説している。第１章では、ＬＩＧＡ技術の原理と歴史的変遷、そして現状の概要が紹介され、第２章では、ＬＩＧＡ技術による実際の製作工程と、要素技術が解説されている。第３章では、試作事例として、幾つかの実際に試作された応用例が紹介され、第４章では、国内外の状況として、国内および海外におけるＬＩＧＡ関連施設、ならびに活動の状況が報告されている。第５章では、今後の展望ということで、ＬＩＧＡ技術の経済性と市場性の将来展望と、ＬＩＧＡ技術に関するアンケート調査の結果が紹介されている。
Table of Contents
- 第１章 ＬＩＧＡ技術とは
- 第２章 製作工程と要素技術
- 第３章 試作事例
- 第４章 国内外の状況
- 第５章 今後の展望
by "BOOK database"
