Laser-assisted microtechnology

著者

• Metev, S. M. (Simeon Metodiev)
• Veĭko, V. P. (Vadim Pavlovich)

書誌事項

Laser-assisted microtechnology

Simeon M. Metev, Vadim P. Veiko

（Springer series in materials science, v. 19）

Springer, c1998

2nd, updated ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA38066741
• ISBN:
  • 354063973X
• LCCN: 98026049
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin ; New York
• ページ数/冊数: xii, 270 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7836
  • DC21 : 621.3815/2/028
• 件名:
  • LCSH : Electronic industries -- Technological innovations
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications
  • LCSH : Manufacturing processes
  • LCSH : Micromachining
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction
• 親書誌ID:
  • BA00476831