超精密加工技術
著者
書誌事項
超精密加工技術
(超精密シリーズ, 2)
コロナ社, 1998.11
- タイトル別名
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Ultra-precision machining technology
- タイトル読み
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チョウ セイミツ カコウ ギジュツ
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超精密加工技術
1998
限定公開 -
超精密加工技術
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注記
引用・参考文献: 各章末
内容説明・目次
内容説明
本書は、超精密加工に不可欠な、根本的に考慮すべき要素技術を重点的に取り上げている。
目次
- 1 超精密加工の必要性
- 2 超精密加工機械
- 3 超精密切削
- 4 超精密研削
- 5 超精密ポリシング
- 6 リソグラフィおよびエッチング
- 7 高精度プラスチックレンズ
「BOOKデータベース」 より

