はじめての半導体製造装置

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はじめての半導体製造装置

前田和夫著

（ビギナーズブックス, 3）

工業調査会, 1999.3

Title Transcription

ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ

Available at  / 95 libraries

Note

さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247

引用文献および資料: p248-250

Description and Table of Contents

Description

本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

Table of Contents

  • 第０章　半導体製造装置という世界
  • 第１章　半導体デバイスの製造工程
  • 第２章　半導体製造装置の技術史
  • 第３章　半導体製造装置の種類と役割
  • 第４章　半導体製造装置の構成と方式
  • 第５章　各種半導体製造装置の概要
  • 第６章　半導体製造装置の現場
  • 第７章　半導体製造装置の技術要素
  • 第８章　半導体製造装置技術のロードマップ
  • 第９章　２１世紀の半導体製造装置—半導体製造装置進化論

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Details

  • NCID
    BA40473169
  • ISBN
    • 4769311699
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    254p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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