透明導電膜の技術

著者

• 日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会 ニホン ガクジュツ シンコウカイ トウメイ サンカブツ ヒカリ デンシ ザイリョウ ダイ166 イインカイ

書誌事項

透明導電膜の技術

日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会編

オーム社, 1999.3

タイトル読み

トウメイ ドウデンマク ノ ギジュツ

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• 透明導電膜の技術

  1999

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: 各章末

業務資料: p[281]-289

内容説明・目次

内容説明

本書は、透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。関連産業とその技術の社会的位置づけ、および透明導電膜の歴史、物質科学、応用例を述べ、関連する材料科学を紹介、実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、薄膜の作製法、微細加工法、および機能の評価方法を詳細に解説している。最後に、薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。

目次

• 第１章　地球環境・エネルギー・情報化社会
• 第２章　透明導電膜は何に使われるか
• 第３章　透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
• 第４章　透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
• 第５章　透明導電膜はどのようにして作るか
• 第６章　透明導電膜をいかに微細加工するか
• 第７章　透明導電膜はどのように評価するか

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA41039656
• ISBN:
  • 4274035166
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 289p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : セラミックス
  • NDLSH : 薄膜