透明導電膜の技術
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透明導電膜の技術
オーム社, 1999.3
- タイトル読み
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トウメイ ドウデンマク ノ ギジュツ
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透明導電膜の技術
1999
限定公開 -
透明導電膜の技術
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注記
参考文献: 各章末
業務資料: p[281]-289
内容説明・目次
内容説明
本書は、透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書である。関連産業とその技術の社会的位置づけ、および透明導電膜の歴史、物質科学、応用例を述べ、関連する材料科学を紹介、実用デバイスへの薄膜の応用にあたって必要となる技術、薄膜の作製法、微細加工法、および機能の評価方法を詳細に解説している。最後に、薄膜作製にあたって必要となる材料および装置の入手に関するデータを付録としてまとめた。
目次
- 第１章 地球環境・エネルギー・情報化社会
- 第２章 透明導電膜は何に使われるか
- 第３章 透明導電膜材料の基礎的な性質は何か
- 第４章 透明導電膜の材料にはどんなものがあるか
- 第５章 透明導電膜はどのようにして作るか
- 第６章 透明導電膜をいかに微細加工するか
- 第７章 透明導電膜はどのように評価するか
「BOOKデータベース」 より