Cu配線技術の最新の展開

著者

書誌事項

Cu配線技術の最新の展開

新宮原正三 [ほか] 編集委員

リアライズ社, 1998.5

タイトル別名

Cu-interconnect technology

タイトル読み

Cu ハイセン ギジュツ ノ サイシン ノ テンカイ

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注記

執筆: 中川修 [ほか]

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA41609481
  • ISBN
    • 4898080081
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    10, 257, 8p
  • 大きさ
    30cm
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