電子・イオンビーム工学

著者

• 高木, 俊宜 タカギ, トシノリ
• 電気学会 デンキ ガッカイ

書誌事項

電子・イオンビーム工学

高木俊宜執筆委員 ; 電気学会編集

（電気学会大学講座 / 電気学会編）

電気学会 , オーム社 (発売), 1999.5

2版

タイトル読み

デンシ ・ イオン ビーム コウガク

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• 電子・イオンビーム工学

  1995

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

参考文献: p317-318

初版(1995.3)は、<BN12431366>を見よ

内容説明・目次

内容説明

本書は、真空中での電子やイオン、すなわち、荷電粒子の挙動を理解し、新材料、高機能デバイス開発という観点も考慮にいれて記述したものである。

目次

• 第１章　電子とイオン
• 第２章　電子の発生とビーム形成
• 第３章　イオンの発生と引き出し
• 第４章　荷電粒子の運動とビーム輸送
• 第５章　電子の密度変調と速度変調
• 第６章　荷電粒子ビームと固体表面との相互作用
• 第７章　荷電粒子ビーム応用装置

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA41822387
• ISBN:
  • 4886862179
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京,東京
• ページ数/冊数: xii, 323p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.1
• 件名:
  • BSH : 電子流
  • BSH : イオンビーム
• 親書誌ID:
  • BN00028945