電子・イオンビーム工学
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書誌事項
電子・イオンビーム工学
（電気学会大学講座 / 電気学会編）
電気学会 , オーム社 (発売), 1999.5
2版
- タイトル読み
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デンシ ・ イオン ビーム コウガク
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注記
参考文献: p317-318
初版(1995.3)は、<BN12431366>を見よ
内容説明・目次
内容説明
本書は、真空中での電子やイオン、すなわち、荷電粒子の挙動を理解し、新材料、高機能デバイス開発という観点も考慮にいれて記述したものである。
目次
- 第１章 電子とイオン
- 第２章 電子の発生とビーム形成
- 第３章 イオンの発生と引き出し
- 第４章 荷電粒子の運動とビーム輸送
- 第５章 電子の密度変調と速度変調
- 第６章 荷電粒子ビームと固体表面との相互作用
- 第７章 荷電粒子ビーム応用装置
「BOOKデータベース」 より