現代エレクトロニクスを支える単結晶成長技術
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現代エレクトロニクスを支える単結晶成長技術
培風館, 1999.6
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単結晶成長技術 : 現代エレクトロニクスを支える
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ゲンダイ エレクトロニクス オ ササエル タンケッショウ セイチョウ ギジュツ
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参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
現代のエレクトロニクスの発展に重要な役割を果たしている単結晶製造技術に関して、総合的に解説した初めての成書である。特に、結晶成長の科学・技術・産業に大きな影響を与えた「融液あるいは溶液からの単結晶成長技術」を中心に述べている。Si結晶から化合物半導体結晶、光学応用結晶、圧電結晶、さらに磁気応用結晶まで多くの種類の結晶について、その機能と応用、成長原理と育成技術、関連支援技術、およびこれらの技術開発の背景と経過などを整理して解説している。豊富なデータと実践的内容に満ちており、関連の技術者・研究者に必携の書である。
Table of Contents
- 第1編 総論
- 第2編 シリコン結晶
- 第3編 化合物半導体結晶
- 第4編 光学応用結晶
- 第5編 圧電結晶
- 第6編 磁気応用結晶
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