電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
著者
書誌事項
電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
[出版者不明], 1999.3
- タイトル別名
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平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書
- タイトル読み
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デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ゲンシソウ CVD ニ オケル ハンノウ メカニズム ノ ケンキュウ
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注記
課題番号:08455019