二次イオン質量分析法

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二次イオン質量分析法

日本表面科学会編

（表面分析技術選書）

丸善, 1999.7

タイトル読み

ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ

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内容説明・目次

内容説明

エレクトロニクス材料をはじめとする各種材料およびこれらを利用した機能デバイスの高度化に伴い、材料の表面・界面の正しい評価および管理技術が重要度を増してきた。日本表面科学会では、このようなニーズに応えるために「表面分析技術選書」を企画した。本書は、その企画の一環として執筆したＳＩＭＳの実用書であり、世界で最初に試みた単行本であるといえる。

目次

  • １　二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）の概要
  • ２　ＳＩＭＳの原理
  • ３　ＳＩＭＳ装置
  • ４　ＳＩＭＳの測定法
  • ５　定性分析
  • ６　定量分析
  • ７　各種分析モードと解析例
  • ８　ＳＩＭＳおよびＳＩＭＳ関連技術の新しい展開

「BOOKデータベース」 より

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