二次イオン質量分析法
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二次イオン質量分析法
(表面分析技術選書)
丸善, 1999.7
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ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ
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Description and Table of Contents
Description
エレクトロニクス材料をはじめとする各種材料およびこれらを利用した機能デバイスの高度化に伴い、材料の表面・界面の正しい評価および管理技術が重要度を増してきた。日本表面科学会では、このようなニーズに応えるために「表面分析技術選書」を企画した。本書は、その企画の一環として執筆したSIMSの実用書であり、世界で最初に試みた単行本であるといえる。
Table of Contents
- 1 二次イオン質量分析法(SIMS)の概要
- 2 SIMSの原理
- 3 SIMS装置
- 4 SIMSの測定法
- 5 定性分析
- 6 定量分析
- 7 各種分析モードと解析例
- 8 SIMSおよびSIMS関連技術の新しい展開
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