Lithography process control

著者

• Levinson, Harry J.

書誌事項

Lithography process control

Harry J. Levinson

（Tutorial texts in optical engineering, v. TT 28）

SPIE Optical Engineering Press, c1999

• softcover

注記

Includes bibliographical references (p. 169-188) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42457924
• ISBN:
  • 0819430528
• LCCN: 98044433
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: x, 190 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Etching
  • LCSH : Microlithography -- Quality control
• 親書誌ID:
  • BA11743995