ラジカル制御を用いた表面反応過程及び薄膜形成に関する研究
著者
書誌事項
ラジカル制御を用いた表面反応過程及び薄膜形成に関する研究
[出版者不明], 1999.3
- タイトル別名
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平成8年度ー平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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ラジカル セイギョ オ モチイタ ヒョウメン ハンノウ カテイ オヨビ ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
課題番号:08405005
研究分担者: 河野明廣,堀勝,伊藤昌文
