負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

著者

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ

書誌事項

負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)(展開)研究成果報告書(課題番号08555172)

負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

タイトル読み

フイオンビーム ニ ヨル フンタイ ビリュウシ エノ ムタイデン ムヒサン イオン チュウニュウホウ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42969176
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm