プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

著者

• 寺嶋, 和夫 テラシマ, カズオ

書誌事項

プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

研究代表者 寺嶋和夫

寺嶋和夫, 1999.3

タイトル別名

平成9-10年度科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

タイトル読み

プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ エノ オウヨウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43115278
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm