グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

著者

• 河邊, 隆也 カワベ, タカヤ

書誌事項

グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書）

[河邊隆也], 1998.10

タイトル読み

グローモード プラズマゲン オ モチイタ ホウデン センジョウホウ ノ ケンキュウ

注記

研究代表者: 河邊隆也

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43610630
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [つくば]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
• 件名:
  • FREE : グロー放電
  • FREE : 超高真空
• 親書誌ID:
  • BN06454458