新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

著者

• 畑, 朋延 ハタ, トモノブ

書誌事項

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

研究代表者 畑朋延

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9-10年度）

[畑朋延], 1999.3

タイトル読み

アタラシイ スパッタ タイセキ モード ニヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA44223990
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [金沢]
• ページ数/冊数: iv, 168p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401