Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification

著者

• Gupta, Dinesh C.
• Brown, George A.

書誌事項

Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification

Dinesh C. Gupta and George A. Brown, editors

（ASTM special technical publication, 1382）

ASTM, c2000

注記

Includes bibliographical references

• NII書誌ID(NCID): BA45719619
• ISBN:
  • 0803126158
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: West Conshohocken, PA
• ページ数/冊数: xi, 169 p.
• 大きさ: 23 cm
• 親書誌ID:
  • BA00068096