Physical vapor deposition of thin films

著者

• Mahan, John E.

書誌事項

Physical vapor deposition of thin films

John E. Mahan

John Wiley & Sons, c2000

注記

Includes bibliographical references and indexes

"A Wiley-Interscience publication."

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46093932
• ISBN:
  • 0471330019
• LCCN: 99021926
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xiii, 312 p., [4] p. of plates
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TS695
  • DC21 : 671.7/35
• 件名:
  • LCSH : Vapor-plating
  • LCSH : Thin films