高性能半導体プロセス用分析・評価技術

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

書誌事項

高性能半導体プロセス用分析・評価技術

UCS半導体基盤技術研究会編

（Ultra clean technology series, no.13）

リアライズ社, 1992.5

タイトル読み

コウセイノウ ハンドウタイ プロセスヨウ ブンセキ ヒョウカ ギジュツ

注記

監修:大見忠弘・新田雄久

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA4630306X
• ISBN:
  • 4947655534
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 233p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA46303106