SOIの科学

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SOIの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修

（Surface science technology series, 4）

リアライズ社, 2000.4

Title Transcription

SOI ノ カガク

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編集委員会: 出水清史ほか

執筆者: 出水清史ほか

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Details

  • NCID
    BA46639027
  • ISBN
    • 4898080227
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    6, 361, 4p
  • Size
    27cm
  • Parent Bibliography ID
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