マイクロマシンの計測評価法 Measurement and evaluation methods of micromachine

著者

• マイクロマシンセンター マイクロマシン センター

書誌事項

マイクロマシンの計測評価法 = Measurement and evaluation methods of micromachine

（MMCテクニカル・レポート = MMC technical report, MMC TR-S002(01)-2000）

マイクロマシンセンター, 2000.6

タイトル別名

マイクロマシンの計測評価法

タイトル読み

マイクロ マシン ノ ケイソク ヒョウカホウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA47245887
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 369p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン
• 親書誌ID:
  • BA38619137