低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成
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書誌事項
低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度〜平成11年度)
[北海道大学医療技術短期大学部], 2000.3
- タイトル読み
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テイシュウハ プラズマ CVD ニヨル シュウセキ カイロ ハイセン ノ カクサン バリアザイ トシテノ TiNマク テイオン ケイセイ
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