高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

著者

• 伊藤, 吾朗 イトウ, ゴロウ

書誌事項

高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

研究代表者:伊藤吾朗

（課題研究成果報告書, 2000）

軽金属奨学会, [2000]

タイトル別名

Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits

タイトル読み

コウ シュウセキ カイロ ハイセンヨウ コウセイノウ アルミニウム ゴウキン ノ カイハツ

注記

英文併記

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA48003522
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: 大阪
• ページ数/冊数: 123p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC8 : 565.52
• 親書誌ID:
  • BN07457134