高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

Author(s)

    • 伊藤, 吾朗 イトウ, ゴロウ

Bibliographic Information

高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

研究代表者:伊藤吾朗

(課題研究成果報告書, 2000)

軽金属奨学会, [2000]

Other Title

Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits

Title Transcription

コウ シュウセキ カイロ ハイセンヨウ コウセイノウ アルミニウム ゴウキン ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BA48003522
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    大阪
  • Pages/Volumes
    123p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Parent Bibliography ID
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