European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997

著者

• European Workshop on Materials for Advanced Metallization
• Grenoble Submicron Silicon
• Institut national polytechnique de Grenoble
• Laboratoire d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation
• International Union for Vacuum Science, Technique and Applications
• Ministére de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieur et de la Recherche
• IEEE-EDS

書誌事項

European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997

with the scientific support of GRESSI (Grenoble Submicron Silicon), INPG (Institut National Polytechnique Grenoble) ; with the financial help of CEA-LETI (Laboratorie d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation ... [et al.] ; sponsorship of IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Applications), Ministère de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieue et de la Recherche, IEEE-EDS

Société Française du Vide, 1997

タイトル別名

MAM '97

注記

Includes bibliographical references and indexes

IEEE catalog number 97TH8287

"Supplément à la Revue (Le Vide : science, technique et applications) No.283, Janvier-Févier-Mars, 1997"

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA48450655
• 出版国コード: fr
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Paris
• ページ数/冊数: 221 p.
• 大きさ: 24 cm