Substrate preparation for thin film deposition

著者

• Vescan, L.

書誌事項

Substrate preparation for thin film deposition

guest editor, L. Vescan

（Handbook of thin film process technology / editors, David A. Glocker, S. Ismat Shah, 99/1）

Institute of Physics Pub., c1999

• NII書誌ID(NCID): BA49198143
• ISBN:
  • 0750305983
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bristol ; Philadelphia
• ページ数/冊数: 1 v.(loose-leaf)
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BA25838659