Handbook of thin film process technology

著者

• Glocker, David A.
• Shah, S. Ismat

書誌事項

Handbook of thin film process technology

editors, David A. Glocker, S. Ismat Shah

Institute of Physics Pub., c1995

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA25838659
• ISBN:
  • 0750303115
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bristol ; Philadelphia
• ページ数/冊数: 1 v. (various pagings)
• 大きさ: 31 cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.2