静電気力を用いた超クリーン非接触搬送システム

書誌事項

静電気力を用いた超クリーン非接触搬送システム

研究代表者 樋口俊郎

樋口俊郎, 2000.3

タイトル別名

平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

セイデンキリョク オ モチイタ チョウクリーン ヒセッショク ハンソウ システム

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA49249120
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    170p
  • 大きさ
    30cm
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