希薄気体の熱遷移流を利用した非機械的真空ポンプの開発

著者

• 曾根, 良夫 ソネ, ヨシオ

書誌事項

希薄気体の熱遷移流を利用した非機械的真空ポンプの開発

曾根良夫研究代表

[曾根良夫], 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

キハク キタイ ノ ネツ センイリュウ オ リヨウ シタ ヒキカイテキ シンクウ ポンプ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA49275674
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 192p
• 大きさ: 30cm