新しい半導体製造プロセスと材料

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ

書誌事項

新しい半導体製造プロセスと材料

シーエムシー, 2000.5

タイトル別名

New process and materials of semiconductore equipment

タイトル読み

アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ

注記

監修: 大見忠弘

文献: 各章末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA49424027
• ISBN:
  • 488231276X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 274p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体