Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition

著者

• Anders, André

書誌事項

Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition

edited by André Anders

J. Wiley, c2000

• : hbk

注記

"A Wiley-Interscience publication."

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA4949965X
• ISBN:
  • 0471246980
• LCCN: 99089627
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xxiii, 736 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TS695.25.
  • DC21 : 671.7
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Ion bombardment -- Industrial applications
  • LCSH : Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
  • LCSH : Metals -- Surfaces
  • LCSH : Metals -- Finishing