超LSI工学入門
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超LSI工学入門
日刊工業新聞社, 2000.12
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チョウLSI コウガク ニュウモン
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Description and Table of Contents
Description
本書は普通高校過程卒をはじめとし、機械系卒、化学系卒、物理系卒、および、電気系卒などの高校出身者の方々を対象に、また、これからVLSIの設計開発、ウェファ製造、あるいは、電子機器の設計開発などの業務に携わる方々を対象に書かれている。従来のLSI/ICの書物は電子物性や半導体物理面での解説が多かった。本書では、これら電子物性や半導体物理面は最小限の解説にとどめ、VLSIを容易に理解できるように基本的なデバイス構造や基本回路等の基本事項に絞り、また、VLSIの基本的な設計法を述べ、VLSIのウェファ製造におけるユニット・プロセスなどについてまとめている。
Table of Contents
- 第1章 VLSI、ICとは?
- 第2章 超LSIの基本デバイスと特性
- 第3章 超LSIの基本回路と特性
- 第4章 超LSIメモリと特性
- 第5章 超LSIの設計
- 第6章 超LSIの製造プロセスとユニットプロセス
- 第7章 リソグラフィ技術とパターン描画
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