Microsystem technology

著者

• Menz, Wolfgang
• Paul, Oliver
• Mohr, Jürgen

書誌事項

Microsystem technology

W.Menz, J. Mohr, O. Paul

Wiley-VCH, c2001

注記

Bibliography: p. [465]-483

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA50808999
• ISBN:
  • 3527296344
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim ; Cambridge
• ページ数/冊数: xii, 500 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC21 : 620.0011
• 件名:
  • LCSH : Miniature electronic equipment
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Micromechanics
  • LCSH : Systems engineering