イオンビーム技術の開発
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イオンビーム技術の開発
（CMCテクニカルライブラリー）
シーエムシー, 2001.6
普及版
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Development of ionbeam technology
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イオン ビーム ギジュツ ノ カイハツ
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Note
「イオンビーム応用技術」(1989年刊)の改題
文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
本書は、基礎的なイオンビームの物理化学、各種イオンビーム装置技術、またこれらの装置を用いた応用技術、特にイオン注入あるいは薄膜コーティングを主体にした表面機能材料、機能素子への応用に重点を置き、それぞれの分野の第一人者に執筆頂いたものである。
Table of Contents
- 基礎編（イオンビームと固体との相互作用；イオンビームの物理化学；イオンビームの発生と輸送；イオンビーム装置）
- 応用編（イオン注入による表面改質技術とその応用；イオンミキシングによる表面改質技術とその応用；薄膜形成表面被覆技術とその応用；表面除去加工技術とその応用；イオンビームによる分析評価技術 ほか）
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